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氣體質量控制器
具備擴展的範圍能力，可達 400 SLM，具有更高的溫度穩定性以及多種功能。
Product Features
最小量測5SCCM
尺寸精巧
標配開啟緩衝功能
高氣密性
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Specifications
型號 | 產品描述 | 流量範圍 |
MF5111B | 質量流量計 | 5 SCCM ~ 20 SLM |
MF5141B | 質量流量控制器 (常閉型) | |
MF5151B | 質量流量控制器 (常開型) | |
MF5112B | 質量流量計 | 30 SCCM ~ 200 SLM |
MF5142B | 質量流量控制器 (常閉型) | |
MF5152B | 質量流量控制器 (常開型) | |
MF5113B | 質量流量計 | 400 SLM |
MF5143B | 質量流量控制器 (常閉型) |
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Model：MF5100B
